WTi
Grynumas
Grynumas yra vienas iš pagrindinių tikslinės medžiagos eksploatacinių savybių rodiklių, nes tikslinės medžiagos grynumas turi didelę įtaką filmo veikimui. Tačiau praktikoje tikslinių medžiagų grynumo reikalavimai taip pat skiriasi. Pavyzdžiui, sparčiai vystantis mikroelektronikos pramonei, silicio plokštelių dydis išaugo nuo 6", 8" iki 12", o laidų plotis sumažėjo nuo 0,5 um iki 0 .25um, 0.18um arba net 0.13um Ankstesnis tikslinis grynumas buvo 99,995 %. Jis gali atitikti proceso reikalavimus 0.35umIC, bet tikslinis grynumas, reikalingas paruošti {. {15}}.18um eilutės yra 99,999 % ar net 99,9999 %.
Volframo purškimo tikslinis tiekėjas
Priemaišų kiekis
Priemaišos tikslinėje kietojoje medžiagoje ir deguonis bei vandens garai porose yra pagrindiniai nusėdusių plėvelių taršos šaltiniai. Skirtingoms reikmėms skirtos tikslinės medžiagos taip pat turi skirtingus reikalavimus skirtingiems priemaišų kiekiams. Pavyzdžiui, gryno aliuminio ir aliuminio lydinių taikiniams, naudojamiems puslaidininkių pramonėje, taikomi specialūs reikalavimai šarminių metalų kiekiui ir radioaktyviųjų elementų kiekiui.
Tankis
Norint sumažinti poras kietoje tikslinėje medžiagoje ir pagerinti purškiamos plėvelės veikimą, tikslinės medžiagos tankis paprastai turi būti didesnis. Taikinio tankis turi įtakos ne tik purškimo greičiui, bet ir elektrinėms bei optinėms plėvelės savybėms. Kuo didesnis tikslinis tankis, tuo geresnis filmo veikimas. Be to, padidinus tikslinės medžiagos tankį ir stiprumą, tikslinė medžiaga gali geriau atlaikyti šiluminį įtempį purškimo proceso metu. Tankis taip pat yra vienas iš pagrindinių tikslinių medžiagų veikimo rodiklių.
Volframo purškimas Tikslinė gamyba
Grūdų dydis ir grūdų dydžio pasiskirstymas
Paprastai tikslinė medžiaga turi polikristalinę struktūrą, o grūdelių dydis gali svyruoti nuo mikronų iki milimetrų. Naudojant tą pačią tikslinę medžiagą, smulkiagrūdžių taikinių purškimo greitis yra didesnis nei taikinio su stambiais grūdeliais; o taikinys su mažesniu grūdelių dydžio skirtumu (vienodas pasiskirstymas) turės vienodesnį dulkinimo būdu nusodintos plėvelės storio pasiskirstymą.
