Grynumas: Molybdenum taikinio grynumas yra pagrindinis jo veikimo rodiklis. Paprastai tariant, aukšto grynumo molibdeno taikinio grynumas gali pasiekti 99,95% ar net didesnį.
Tankis: tankis, artimas teoriniam molibdeno tankiui (10,22 g\/cm³) yra aukštos kokybės molibdeno taikinio požymis. Didesnis tankis rodo, kad medžiagoje yra mažiau tuštumų, o struktūra yra įtempta, o tai yra labai svarbus siekiant pagerinti tikslinės medžiagos aptarnavimo tarnavimo laiką ir stabilumą.
Šilumos laidumas: molibdeno šilumos laidumas yra apie 138 W\/m · k. Didelis šilumos laidumas yra labai svarbus siekiant kontroliuoti taikinį didelės greičio dangos metu, o tai padeda išvengti perkaitimo ir struktūrinio taikinio pažeidimo.
Šilumos išsiplėtimo koeficientas: Molybdenum žemas šiluminio išsiplėtimo koeficientas yra apie 4,8 × 10^-6 \/ laipsnis. Ši savybė reiškia, kad „Molybdenum“ taikinys turi gerą matmenų stabilumą esant temperatūros pokyčiams, o tai padeda išlaikyti plonos plėvelės nusodinimo proceso nuoseklumą ir tikslumą.
Kietumas ir stiprumas: „Molybdenum“ „Vickers“ kietumas yra apie 2500 HV ir turi aukštą mechaninį stiprumą. Tai leidžia „Molybdenum“ taikiniui atlaikyti mechaninį smūgį greitaeigio dangos metu.
Paviršiaus lygumas ir šiurkštumas: Paviršiaus lygumas ir šiurkštumas taip pat yra svarbūs parametrai molibdeno taikinių kokybei įvertinti. Geras paviršiaus apdorojimas gali sumažinti dalelių generavimą taikinio naudojimo metu ir pagerinti deponuotos plėvelės vienodumą ir kokybę.
„Molybdenum“ tikslinis mėginio paveikslėlio ekranas
